Cad ésliseanna faoi stiúir? Mar sin, cad iad a saintréithe? Is éard atá i gceist le déantúsaíocht sliseanna stiúir ná leictreoidí teagmhála íseal-ómaí éifeachtacha agus iontaofa a mhonarú, freastal ar an titim voltas réasúnta beag idir ábhair theagmhálacha, padáin brú a sholáthar do shreanga táthúcháin, agus astaithe solais oiread agus is féidir. Úsáideann an próiseas aistrithe scannáin modh galú bhfolús go ginearálta. Faoi 4pa ardfholús, déantar an t-ábhar a leá trí théamh friotaíochta nó trí mhodh téimh bombardú bhíoma leictreon, agus déantar bZX79C18 mar ghal miotail agus é a thaisceadh ar dhromchla ábhar leathsheoltóra faoi bhrú íseal.

Go ginearálta, cuimsíonn an miotail teagmhála p-cineál a úsáidtear Aube, auzn agus cóimhiotail eile, agus is minic a ghlacann an miotail teagmhála n-taobh cóimhiotal AuGeNi. Is féidir le ciseal teagmhála an leictreoid agus an ciseal cóimhiotail nochta freastal go héifeachtach ar riachtanais an phróisis liteagrafaíocht. Tar éis an phróisis photolithography, tá sé freisin tríd an bpróiseas chóimhiotail, a dhéantar de ghnáth faoi chosaint H2 nó N2. De ghnáth déantar an t-am cóimhiotail agus an teocht a chinneadh de réir saintréithe na n-ábhar leathsheoltóra agus an fhoirm foirnéise cóimhiotail. Ar ndóigh, má tá an próiseas leictreoid sliseanna cosúil le gorm agus glas níos casta, is gá fás scannán éighníomhach agus próiseas eitseála plasma a chur leis.

Sa phróiseas déantúsaíochta sliseanna stiúir, cén próiseas a bhfuil tionchar tábhachtach aige ar a fheidhmíocht fhótaileictreach?

Go ginearálta, tar éis críochnúTáirgeadh epitaxial LED, tá a phríomh-airíonna leictreacha tugtha chun críche, agus ní athróidh an déantúsaíocht sliseanna a nádúr núicléach, ach beidh coinníollacha míchuí sa phróiseas sciath agus cóimhiotal ina chúis le roinnt paraiméadair leictreach díobhálacha. Mar shampla, beidh droch-theagmháil ohmic ag teocht chóimhiotail íseal nó ard, agus is é sin an chúis is mó leis an titim ardvoltais VF i ndéantúsaíocht sliseanna. Tar éis a ghearradh, má dhéantar roinnt próisis creimeadh ar imeall an sliseanna, beidh sé ina chuidiú feabhas a chur ar sceitheadh ​​droim ar ais an sliseanna. Tá sé seo mar gheall ar tar éis a ghearradh le lann roth meilt Diamond, fanfaidh níos mó smionagar agus púdar ag imeall an sliseanna. Má tá siad seo i bhfostú ag acomhal PN an sliseanna stiúir, beidh siad ina chúis le sceitheadh ​​leictreach agus fiú miondealú. Ina theannta sin, mura bhfuil an photoresist ar an dromchla sliseanna stripped glan, beidh sé ina chúis le deacrachtaí maidir le táthú tosaigh agus táthú bréagach. Má tá sé ar chúl, cuirfidh sé faoi deara titim ardbhrú freisin. Sa phróiseas táirgthe sliseanna, is féidir an déine solais a fheabhsú trí garbhú an dromchla agus é a roinnt ina struchtúr trapezoidal inbhéartaithe.

Cén fáth ar chóir sliseanna stiúir a roinnt i méideanna éagsúla? Cad iad na héifeachtaí méide ar fheidhmíocht fhótaileictreach LED?

Is féidir méid sliseanna stiúir a roinnt ina sliseanna ísealchumhachta, sliseanna meánchumhachta agus sliseanna ard-chumhachta de réir cumhachta. De réir riachtanais an chustaiméara, is féidir é a roinnt ina leibhéal feadán aonair, leibhéal digiteach, leibhéal ponc maitrís agus soilsiú maisiúil. Maidir le méid sonrach na sliseanna, déantar é a chinneadh de réir leibhéal táirgthe iarbhír na monaróirí sliseanna éagsúla, agus níl aon riachtanas sonrach ann. Chomh fada agus a théann an próiseas, is féidir leis an sliseanna aschur an aonaid a fheabhsú agus an costas a laghdú, agus ní athróidh an fheidhmíocht fhótaileictreach go bunúsach. Baineann úsáid reatha an tslis leis an dlús reatha atá ag sreabhadh tríd an sliseanna. Nuair a bhíonn an sliseanna beag, tá an sruth úsáide beag, agus nuair a bhíonn an sliseanna mór, tá an sruth úsáide mór. Tá a ndlús reatha aonaid go bunúsach mar an gcéanna. Ag cur san áireamh gurb é diomailt teasa an fhadhb is mó faoi ard-sruth, tá a éifeachtacht lonrúil níos ísle ná an sruth íseal. Ar an láimh eile, de réir mar a mhéadaíonn an limistéar, laghdóidh friotaíocht comhlacht na sliseanna, agus mar sin laghdóidh an voltas ar aghaidh.

Cad é an limistéar sliseanna ard-chumhachta LED? Cén fáth?

Sliseanna ard-chumhachta faoi stiúirle haghaidh solas bán go ginearálta thart ar 40mil ar an margadh. Tagraíonn an chumhacht úsáide mar a thugtar air sliseanna ard-chumhachta go ginearálta don chumhacht leictreach níos mó ná 1W. Ós rud é go bhfuil an éifeachtacht chandamach i gcoitinne níos lú ná 20%, déanfar an chuid is mó den fhuinneamh leictreach a thiontú go fuinneamh teasa, agus mar sin tá an diomailt teasa sliseanna ardchumhachta an-tábhachtach, agus ní mór go mbeadh limistéar mór ag an sliseanna.

Cad iad na riachtanais éagsúla a bhaineann le teicneolaíocht sliseanna agus trealamh próiseála chun ábhair epitaxial GaN a mhonarú i gcomparáid le bearna, GaAs agus InGaAlP? Cén fáth?

Tá foshraitheanna na ngnáth-sceallóga dearga agus buí faoi stiúir agus sceallóga geal dearg agus buí Quad déanta as ábhair leathsheoltóra cumaisc cosúil le bearna agus GaAs, ar féidir iad a dhéanamh go ginearálta i bhfoshraitheanna n-cineál. Úsáidtear an próiseas fliuch le haghaidh liteagrafaíocht, agus ansin úsáidtear an lann roth meilt Diamond chun an sliseanna a ghearradh. Is substráit sapphire é sliseanna gorm-uaine ábhar GaN. Toisc go bhfuil an tsubstráit sapphire inslithe, ní féidir é a úsáid mar aon cuaille de stiúir. Is gá leictreoidí p / N a dhéanamh ar an dromchla epitaxial ag an am céanna trí phróiseas eitseála tirim, agus roinnt próisis pasivation. Toisc go bhfuil sapphire an-chrua, tá sé deacair sliseanna a tharraingt le lann roth meilt Diamond. Is gnách go mbíonn a phróiseas teicneolaíochta níos casta ná mar a bhíonn LED déanta as ábhair bearna agus GaAs.

Cad é struchtúr agus tréithe sliseanna “leictreoid thrédhearcach”?

Ba cheart go mbeadh an leictreoid trédhearcach mar a thugtar air seoltaí agus trédhearcach. Úsáidtear an t-ábhar seo go forleathan anois sa phróiseas táirgthe criostail leachtach. Is é an t-ainm ocsaíd stáin indium, a ghiorrú mar ITO, ach ní féidir é a úsáid mar eochaircheap solder. Le linn na monaraithe, déanfar leictreoid ohmic ar dhromchla an tslis, ansin clúdófar ciseal ITO ar an dromchla, agus ansin déanfar ciseal ceap táthú a phláta ar dhromchla an ITO. Ar an mbealach seo, déantar an sruth ón luaidhe a dháileadh go cothrom ar gach leictreoid teagmhála ohmic tríd an gciseal ITO. Ag an am céanna, toisc go bhfuil an t-innéacs athraonta ITO idir an t-innéacs athraonta ábhar aeir agus epitaxial, is féidir an uillinn solais a fheabhsú agus an flosc lonrúil a mhéadú.

Cad é príomhshrutha na teicneolaíochta sliseanna le haghaidh soilsiú leathsheoltóra?

Le forbairt na teicneolaíochta leathsheoltóra LED, tá a chur i bhfeidhm i réimse na soilsithe níos mó agus níos mó, go háirithe tá teacht chun cinn bán LED tar éis éirí mar láthair te de soilsiú leathsheoltóra. Mar sin féin, is gá an teicneolaíocht sliseanna agus pacáistithe eochair a fheabhsú. Maidir le sliseanna, ba cheart dúinn forbairt a dhéanamh i dtreo ardchumhachta, éifeachtacht ard lonrúil agus friotaíocht teirmeach a laghdú. Ciallaíonn méadú na cumhachta go méadaítear sruth úsáide na sliseanna. Is é an bealach níos dírí ná an méid sliseanna a mhéadú. Anois tá na sliseanna ardchumhachta coitianta 1mm × 1mm nó mar sin, agus is é 350mA an sruth oibriúcháin Mar gheall ar an méadú ar an sruth úsáide, tá fadhb an diomailt teasa ina fhadhb shuntasach anois. Anois déantar an fhadhb seo a réiteach go bunúsach leis an modh smeach sliseanna. Le forbairt na teicneolaíochta LED, beidh deis agus dúshlán gan fasach ag baint lena chur i bhfeidhm i réimse na soilsithe.

Cad is sliseanna smeach ann? Cad é a struchtúr? Cad iad na buntáistí a bhaineann leis?

De ghnáth glacann Blue LED substráit Al2O3. Tá cruas ard agus seoltacht íseal teirmeach ag substráit Al2O3. Má ghlacann sé struchtúr foirmiúil, ar thaobh amháin, tabharfaidh sé fadhbanna frith-statacha; ar an láimh eile, beidh diomailt teasa a bheith ina fhadhb mhór freisin faoi reatha ard. Ag an am céanna, toisc go bhfuil an leictreoid tosaigh in airde, cuirfear bac ar roinnt solas, agus laghdófar an éifeachtacht lonrúil. Is féidir le stiúir gorm ardchumhachta aschur solais níos éifeachtaí a fháil trí theicneolaíocht sliseanna smeach sliseanna ná an teicneolaíocht pacáistithe traidisiúnta.

Faoi láthair, is é an modh struchtúr sliseanna smeach príomhshrutha ná: an chéad, sliseanna stiúir gorm mór-mhéid a ullmhú le leictreoid táthú eutectic, tsubstráit sileacain a ullmhú beagán níos mó ná an sliseanna stiúir gorm, agus déan ciseal seoltaí óir agus luaidhe amach ciseal sreang ( liathróid sreangán óir ultrasonaic comhpháirteach solder) le haghaidh táthú eutectic air. Ansin, tá an sliseanna stiúir gorm ard-chumhachta agus an tsubstráit sileacain táthaithe le chéile ag trealamh táthú eutectic.

Is é tréith an struchtúir seo ná go bhfuil an ciseal epitaxial i dteagmháil dhíreach leis an tsubstráit sileacain, agus tá friotaíocht teirmeach an tsubstráit sileacain i bhfad níos ísle ná an tsubstráit sapphire, agus mar sin tá fadhb an diomailt teasa réitithe go maith. Toisc go bhfuil aghaidh an tsubstráit sapphire in airde tar éis gléasta smeach, bíonn sé ina dhromchla astaithe solais, agus tá an sapphire trédhearcach, agus mar sin déantar an fhadhb astaithe solais a réiteach freisin. Is é an méid thuas ná an t-eolas ábhartha ar theicneolaíocht LED. Creidim, le forbairt na heolaíochta agus na teicneolaíochta, go mbeidh na lampaí stiúir sa todhchaí níos mó agus níos éifeachtaí, agus feabhsófar saol na seirbhíse go mór, rud a thabharfaidh áisiúlacht níos mó dúinn.